ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">石英晶振频率微调国内外研究现状an>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">石英晶体元器件的生产从晶片的切割到成品包装。在整个工艺流程中an lang="EN-US">,an>以下几个工序主要影响着产品的频率。an>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">1.晶振an>an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">晶片的制作an lang="EN-US">,an>根据目标频率制作出相应切割方位、尺寸的晶片。an>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">2.an>an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">在晶片表面镀敷导电电极层an lang="EN-US">(an>根据要求可以镀银或金an lang="EN-US">)an>。an>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an lang="EN-US" style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">3.an>an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">通过微量增厚或减薄镀层的厚度an lang="EN-US">,an>进行频率的微调。an>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an style="font-size: 14pt; font-family: 宋体;">国内外在<a href="http://www.jingzhen95.com/Quartzcrystal.html" title="石英晶体" target="_blank">石英晶体a>元器件生产过程中使用的频率微调方法主要有蒸发频率微调技术an lang="EN-US">,an>喷射频率微调技术an lang="EN-US">,an>激光刻蚀频率微调技术an lang="EN-US">,an>离子刻蚀频率微调技术an>
<a href="http://www.jingzhen95.com/TaiwanCrystals.html" target="_blank">
alt="1-1蒸发频率微调示意图" />a>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">如图an lang="EN-US">1-1an>所示an lang="EN-US">,an>蒸发频率微调技术是石英晶体元器件加工中出现最早的微调技术。是在真空状态下an lang="EN-US">,an>对装有蒸发材料an lang="EN-US">(an>银an lang="EN-US">)an>的钨制料舟进行加热an lang="EN-US">,an>使银气化沉积在石英晶体表面而达到频率微调的目的。因为此技术频率偏差大an lang="EN-US">,an>效率低an lang="EN-US">,an>原料消耗大an lang="EN-US">,an>国内外的使用在逐渐减少。an>
<a href="http://www.jingzhen95.com/32768Kcrystals.html" target="_blank">
alt="1-2喷射频率微调示意图" />a>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">如图an lang="EN-US">1-2an>所示an lang="EN-US">,an>喷射频率微调技术是蒸发频率微调技术的改进型。是在真空状态下an lang="EN-US">,an>对装有蒸发材料an lang="EN-US">(an>银an lang="EN-US">)an>钼盒进行加热an lang="EN-US">,an>使银气化后从钼盒的孔中喷出an lang="EN-US">,an>沉积在石英晶振晶体表面而达到频率微调的目的。因为此技术易于实现an lang="EN-US">,an>相应的设备简单an lang="EN-US">,an>成本低an lang="EN-US">,an>频率偏移不是很大。因此目前国内外使用较多。an>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">如图an lang="EN-US">1-3an>所示an lang="EN-US">,an>激光刻蚀频率微调技术是将激光发生器产生的激光照射石英<a href="http://www.jingzhen95.com/SMDcrystal.html" title="贴片晶振" target="_blank">贴片晶振a>晶体表面的电极层an lang="EN-US">,an>使其气化而达到减薄电极层的膜厚度an lang="EN-US">,an>从而达到调整频率的目的。因其精度高an lang="EN-US">,an>速度快而被广泛的应用于石英晶体元器件的生产中。an>
<a href="http://www.jingzhen95.com/OscillatorCrystal.html" target="_blank">
alt="1-3激光刻蚀频率微调示意图" />a>
ass="MsoNormal" style="color: rgb(102, 102, 102); text-indent: 2em;">
an style="font-size: 14pt; font-family: 新宋体;">虽然激光刻蚀频率微调技术精度高an lang="EN-US">,an>加工质量稳定an lang="EN-US">,an>生产效率高an lang="EN-US">,an>但是激光频率微调后石英晶振晶片表面并不是均匀一致的an lang="EN-US">,an>而是凸凹不平的。因此an lang="EN-US">,an>并不适用于所有的石英晶体的频率调整an lang="EN-US">,an>特别是an lang="EN-US">ATan>系列产品。为此an lang="EN-US">20an>世纪an lang="EN-US">80an>年代末期开始an lang="EN-US">,an>出现了关于离子東刻蚀频率微调技术的研究an lang="EN-US">,an>经过多年的发展an lang="EN-US">,an>国内外有些厂商已开始应用。如图an lang="EN-US">1-4an>所示an lang="EN-US">,an>离子束刻蚀频率微调技术是将离子发生器产生的离子加速后轰击晶片表面an lang="EN-US">,an>使晶片表面的电极层脱落an lang="EN-US">,an>减薄电极层膜厚an lang="EN-US">,an>从而达到调整频率的目的.an>
<a href="http://www.jingzhen95.com/KDScrystal.html" target="_blank">
alt="1-4离子束刻蚀频率微调示意图" />a>
alt="2.1GPS卫星全球定位系统组成示意图" />a>
alt="2.2GPS系统测控部分示意图" />a>
alt="4-1基于离子刻蚀技术的频率微调示意图" />a>
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