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an face="新宋体">an style="font-size:18px">接着前面的文章我们继续分析基于晶振的微力传感器的发展.有不懂的问题可以到CEOB2B晶振平台晶振技术资料中查看,有关石英晶振的各种型号,参数信息均可查到.an>an>

an style="font-family:新宋体;font-size:18px">非接触模式是控制探针在样品表面上方扫描an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">始终不与晶振样品表面接触因而针尖不会对样品造成污染或产生破坏an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">避免了接触模式中遇到的一些问题。针尖和样品之间的作用力是很弱的长程作用力一范德华吸引力。非接触模式是测量长程力所采用的方法，其分辨率比接触模式的分辨率要低an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">由于针尖很容易被表面吸附气体的表面压吸附到样品表面an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">造成图像数据不稳定和对样品的破坏。因此非接触模式操作实际上较为困难an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:18px">并且通常不适合在液体中成像。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">轻敲模式介于接触模式和非接触模式之间an>an style="font-size:18px">(13lan>an style="font-size:18px">。其特点是扫描过程中微悬臂也是振荡的并具有比非接触更大的振幅an>an style="font-size:18px">(an>an style="font-size:18px">大于an>an style="font-size:18px">20nm),an>an style="font-size:18px">针尖在振荡时间断地与样品接触。由于针尖与晶振等样品接触an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">分辨率几乎和接触式扫描一样的好an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但由于接触是短暂的an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">因此对样品的破坏几乎完全消失an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">克服了常规扫描模式的局限性。轻敲模式还具有大而且线性的操作范围an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">使得垂直反馈系统具有高度稳定性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">可重复进行样品测量。对于软、粘和脆性样品的研究具有独到的优势但轻敲模式同样也增加了操作和设备的复杂性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在实际运用中存在着不易控制的缺点。an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">SFMan>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">技术的发展强烈依赖于带有特殊针尖的微悬臂制备技术的发展an>an style="font-size:18px">13-15an>an style="font-size:18px">。这种微悬臂和针尖必须是能够简便而快速制备的。在原子力显微镜发展之初an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">悬臂几何形状一般为an>an style="font-size:18px">Lan>an style="font-size:18px">形。其主要是通过将一个很细的金属丝或线圈弯曲an>an style="font-size:18px">90°an>an style="font-size:18px">后an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">顶端经电化学腐蚀成一个针尖而制备得到的。这种制备方法完全依赖于实验技师的手工技能。第二种悬臂制备方法是微刻技术。第一代是简单的an>an style="font-size:18px">SiO2an>an style="font-size:18px">悬臂an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">形状为直角和三角an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">是从氧化硅片上刻蚀得到的。其同腐蚀金属针尖相比an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">不能很好的控制其尖锐程度。后来改用an>an style="font-size:18px">SiN4an>an style="font-size:18px">代替an>an style="font-size:18px">SiO2an>an style="font-size:18px">作为悬臂材料。an>an style="font-size:18px">Si3N4an>an style="font-size:18px">脆性较低an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">而且厚度可以从an>an style="font-size:18px">1.5an>an style="font-size:18px">降到an>an style="font-size:18px">0.3uman>an style="font-size:18px">。这一代悬臂具有完整针尖an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">而且曲率半径非常低。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">美国斯坦福大学是在硅片上刻蚀出金字塔形的小片an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">可以得到曲率半径小于an>an style="font-size:18px">30nman>an style="font-size:18px">的针尖。an>an style="font-size:18px">IBMan>an style="font-size:18px">公司则采用硅片an>an style="font-size:18px">(100)an>an style="font-size:18px">来制备具有完整针尖的硅悬臂an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">曲率半径低于an>an style="font-size:18px">100nman>an style="font-size:18px">。这些通过微电子加工将针尖集成于一体的微悬臂方法有很好的可重复性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">不需粘另外的针尖an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">便于大批量生产。所以一般商用的an>an style="font-size:18px">AFMan>an style="font-size:18px">都采用这种力传感器。但对于静电力显微镜和磁力显微镜来说an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">由于针尖材料具有特殊的要求an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">还是要采用在微悬臂上粘针尖的方法。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">从以上可以看出an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这些基于微悬臂的an>an style="font-size:18px">SFMan>an style="font-size:18px">它们都有一个共同的缺点；它们不仅需要一个结构复杂的微小悬臂作为力的传感器an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">而且还要一个激光干涉仪用于检测微悬臂的微小位移来获得表面变化信息。因而结构较为复杂an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">成本也很高an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">操作难度增大an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">也就造成其在应用中的局限性。所以必须采用其他的传感器和非光学的检测方法。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">CEOB2B晶振平台是全球最优质电子商务平台,提供免费产品推广,海内外晶振规格料号查询,下载等服务.在这里你可以查询到海内外所有品牌产品替代,上百家知名晶振品牌,替代产品终有一家适合你的.今天要为大家介绍的是有关晶振的an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">MFMan>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">的主要应用及存在的问题.an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">1.MFMan>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">的应用an>an style="font-size:16px">14.5.6an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">磁记录介质材料是an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">研究最多的物质之一。事实上an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">在an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">发展初期an>an style="font-size:16px">,MFMan>an style="font-size:16px">首先用于各种磁记录介质和磁头an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">在很小的尺度上仔细研究写入的磁斑、记录的轨道、磁头磁场分布等an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">以分析和判断磁盘和磁头的性能。现在an>an style="font-size:16px">, MFMan>an style="font-size:16px">业已成为高密度磁盘常规测试的工具。超高密度磁存储技术的发展要求在纳米尺度研究磁性晶体的微结构及探测磁性晶体的单畴性an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">因而必须采用an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">Martinan>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">等人第一次利用an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">对an>an style="font-size:16px">Tb1 oferan>an style="font-size:16px">薄膜an>an style="font-size:16px">(an>an style="font-size:16px">一种重要的磁光材料an>an style="font-size:16px">)an>an style="font-size:16px">中写入的磁畴结构an>an style="font-size:16px">(an>an style="font-size:16px">静磁场an>an style="font-size:16px">)an>an style="font-size:16px">作了研究an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">空间分辨率达到an>an style="font-size:16px">100nman>an style="font-size:16px">。an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">也可对软磁膜的磁畴进行结构研究。an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">具有足够的灵敏度和分辨率来观察图像中波动结构等磁信息。针尖样品,石英晶振元件间距少于an>an style="font-size:16px">100nman>an style="font-size:16px">时an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">还可清晰看到针尖诱导畴壁运动的证据。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">再次an>an style="font-size:16px">,MFMan>an style="font-size:16px">能够用来观察磁粒子的微磁学性质和一些物质的磁壁结构近年来an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">利用an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">对有机铁磁体以及生物分子磁性的研究也已经引起科学工作者的广泛重视。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">2.MFMan>an style="font-size:16px;font-family:新宋体">研究中的一些问题an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">各种磁性材料磁力an>an style="font-size:16px">(an>an style="font-size:16px">梯度an>an style="font-size:16px">)an>an style="font-size:16px">图的准确测量。实际上这就要使磁针尖和样品匹配起来an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">尽可能减少磁针尖和样品的相互影响。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">MFMan>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">的定量测量和磁畴结构的计算机模拟。an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">的定量测量an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">在很大的程度上是测定磁针尖的性质an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">如磁矩、弹性系数、品质因数等。但这是相当困难的an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">何况小小的磁针尖上还可能存在磁性微结构。这就要用校准的方法an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">并对针尖作合理的近似an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">才能开展对所测磁力图的解释、分析和计算机模拟工作。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">MFMan>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">在an>an style="font-size:16px">1987an>an style="font-size:16px">年发明后的很短期间内an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">分辨率已达到an>an style="font-size:16px">50nman>an style="font-size:16px">。但至今其现实的横向分辨率仍停留在an>an style="font-size:16px">50-20nm,an>an style="font-size:16px">表明在an>an style="font-size:16px">MFMan>an style="font-size:16px">现有的构架内分辨率已难以突破an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">要获得实质性的提高an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">需要有新的思想an>an style="font-size:16px">.an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">我们接着前面介绍到的石英晶振片的由来以及工作原理,我们接着说石英晶振晶片的电极对膜厚监控、速率控制至关重要。目前an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">市场上提供三种标准电极材料an>an style="font-size:18px">:an>an style="font-size:18px">金、银和合金。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">金是最广泛使用的传统材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">它具有低接触电阻an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">高化学温定性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">易于沉积。金最适合于低应力材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如金an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">银an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">铜的膜厚控制。用镀金晶振片监控以上产品an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">即使频率飘移an>an style="font-size:18px">IMHz,an>an style="font-size:18px">也没有负作用。然而an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">金电极不易弯曲an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">会将应力从膜层转移到石英基片上。转移的压力会使晶振片跳频和严重影响质量和稳定性。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">银是接近完美的电极材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">有非常低的接触电阻和优良的塑变性。然而an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">银容易硫化an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">硫化后的银接触电阻高an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">降低晶振片上膜层的牢固性。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">银铝合金晶振片最近推出一种新型电极材料an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">适合高应力膜料的镀膜监控an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如an>an style="font-size:18px">siOan>an style="font-size:18px">，an>an style="font-size:18px">SiO2,MgF2,TiO2an>an style="font-size:18px">。这些高应力膜层an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">由于高张力或堆积的引an>an style="font-size:18px">]an>an style="font-size:18px">力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经常会使晶振片有不稳定an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">高应力会使基片变形而导致跳频。这些高应力膜层an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">由于高张力或堆积的引力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经常会使贴片晶振,石英晶振片有不稳定an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">高应力会使基片变形而导致跳频。银铝合金通过塑变或流变分散应力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在张力或应力使基体变形前an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">银铝电极已经释放了这些应力。这使银铝合金晶振片具有更长时间an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">更稳定的振动。有实验表明镀an>an style="font-size:18px">Si02an>an style="font-size:18px">用银铝合金晶振片比镀金寿命长an>an style="font-size:18px">400%an>an style="font-size:18px">。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">镀膜科技日新月异an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">对于镀膜工程师来说an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">如何根据不同的镀膜工艺选择最佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">（an>an style="font-size:18px">1)an>an style="font-size:18px">镀低应力膜料时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">选择镀金晶振片an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">最常见的镀膜是镀an>an style="font-size:18px">Aan>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Auan>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Agan>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Cu,an>an style="font-size:18px">这些膜层几乎没有应力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在室温下镀膜即可膜层较软an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">易划伤an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">经验证明an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">可以在镀金晶振片镀an>an style="font-size:18px">60000an>an style="font-size:18px">埃金和an>an style="font-size:18px">50000an>an style="font-size:18px">埃银的厚度。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">（an>an style="font-size:18px">2)an>an style="font-size:18px">使用镀银或银铝合金镀高应力膜层an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">NiCran>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Moan>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Zran>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Ni-Cran>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">Tian>an style="font-size:18px">、不锈钢这些材料容易产生高应力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">膜层容易从晶体基片上剥落或裂开an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这些情况可以容忍an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但在一些情况下an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">会对蒸发源的功率控制有不良作用。an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">（an>an style="font-size:18px">3)an>an style="font-size:18px">使用银铝合金晶振片镀介质光学膜an>an>

an style="font-size:18px;font-family:新宋体">MgF2an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">SiO2an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">A2O3an>an style="font-size:18px">、an>an style="font-size:18px">TiO2an>an style="font-size:18px">膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">被广泛用于光学镀膜an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">但这些膜料也是最难监控的an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">只有基底温度大于an>an style="font-size:18px">200an>an style="font-size:18px">度时an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">这些膜层才会与基底有非常良好的结合力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">在膜层凝结过程会产生巨大的应力an>an style="font-size:18px">,an>an style="font-size:18px">容易使晶振片在an>an style="font-size:18px">1000an>an style="font-size:18px">埃以内就回失效。an>an>

an style="font-size:16px">石英晶振在如今产品中的应用变得尤为重要,为了更好的使用晶振,我们除了要知道晶振的生产材料,晶振使用型号参数等一些条件之外,关于晶振的使用注意事项,以及石英晶振,贴片晶振晶片的一些关注点也应该知道.在前面的文章中CEOB2B晶振平台介绍了晶振晶片的由来以及其工作原理,下面我们要介绍的是an>an style="font-size:16px;font-family:新宋体">膜厚控制仪用电子组件引起晶振片的高速振动和晶振监控的优缺点.an>

an style="font-size:16px">an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">膜厚控制仪用电子组件引起晶振片的高速振动an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">约每秒an>an style="font-size:16px">6an>an style="font-size:16px">百万次an>an style="font-size:16px">(6MHz),an>an style="font-size:16px">镀膜时an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">测试每秒钟振动次数的改变an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">从所接受的数据中计算膜层的厚度。为了确保晶振片以an>an style="font-size:16px">6MHzan>an style="font-size:16px">的速度振动an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">在真空室外装有an>an style="font-size:16px">“an>an style="font-size:16px">振荡器an>an style="font-size:16px">”,an>an style="font-size:16px">与晶控仪和探头接口连接an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">振荡器通过迅速改变给晶振片的电流使晶振片高速振动。一个电子信号被送回晶控仪。晶控仪中的电路收到电子信号后an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">计算晶振片的每秒振速。这个信息接着传送到个微处理器an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">计算信息并将结果显示在晶控仪上：an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">（an>an style="font-size:16px">1)an>an style="font-size:16px">沉积速率an>an style="font-size:16px">(Rate)  (an>an style="font-size:16px">埃an>an style="font-size:16px">/an>an style="font-size:16px">秒an>an style="font-size:16px">)an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">（an>an style="font-size:16px">2)an>an style="font-size:16px">已沉积的膜厚an>an style="font-size:16px">( Thickness)  (an>an style="font-size:16px">埃an>an style="font-size:16px">)an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">（an>an style="font-size:16px">3)an>an style="font-size:16px">晶振片的寿命an>an style="font-size:16px">(Lie)   (%)an>an>

an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">（an>an style="font-size:16px">4)an>an style="font-size:16px">总的镀膜时间an>an style="font-size:16px">(Time)    (an>an style="font-size:16px">秒an>an style="font-size:16px">)an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">更加精密的设备可显示沉积速率与时间的曲线和薄膜类型。an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">石英晶振监控的优缺点an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">◆an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">优点an>an style="font-size:16px">:an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">1.an>an style="font-size:16px;font-family:新宋体">晶振法是目前唯一可以同时控制膜层厚度和成膜速率的方法。an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">2.an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">输出为电讯号an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">很容易用来做制程的自动控制。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">3.an>an style="font-size:16px;font-family:新宋体">对于厚度要求不严格的滤光片可以利用作为自动制程镀膜机。an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">4.an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">镀金属时an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">石英监控较光学监控来的方便精确。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">◆an>an style="font-size:16px;font-family:新宋体">缺点an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">1.an>an style="font-size:16px;font-family:新宋体">厚度显示不稳定。an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">2.an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">只能显示几何厚度an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">不能显示折射率。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">3.an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">一般精密光学镀膜厚度只用做参考an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">一般用作镀膜速率的控制。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">◆an>an style="font-size:21px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">所以一台镀膜设备往往同时配有石英晶体振荡器监控法和光学膜厚监控法两套监控系统an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">两者相互补充以实现薄膜生产过程中工艺参数的准确性和重复性an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">提高产品的合格率。an>an>

an style="FONT-FAMILY: 宋体; COLOR: rgb(127,127,127); FONT-SIZE: 12px">an face="宋体">正是这样丰富的an>32.768Kan face="宋体">晶振才给我们很多电子产品出现创造条件，但是当我们还沉浸在稀里糊涂的an>an face="Calibri">32.768Kan>an face="宋体">石英晶体谐振器中时，an>an face="Calibri">32.768Kan>an face="宋体">石英晶体振荡器又出现在我们眼中，瞬间只能觉得自己整个人不好，快被an>an face="Calibri">32.768Kan>an face="宋体">晶振弄晕乎了。an>an face="Calibri">32.768Kan>an face="宋体">有源晶振我们暂且不说，但an>an face="Calibri">32.768Kan>an face="宋体">无源晶体相信每位接触晶振的朋友都知道它，并且an>an face="Calibri">32.768Kan>an face="宋体">无源晶振出现的时间是石英晶振中最早最久的，但并不是说我们每个人都已经透彻的了解它了。不相信，那就来看看下面这些小知识你是否都知道呢？an>an>

an face="新宋体">an style="font-size:19px">科技的发展造就多种多样的智能产品,同时加大了对电子零件,频率元件等组成部件的性能要求.比如有源晶振,石英晶体振荡器,石英贴片晶振等,加大了性能的使用要求,具有高品质,高精密,高性能,极具稳定度等特点.an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">高稳定度石英晶体振荡器是目前应用数量最多的频率源。它们被广泛应用于通信、电子仪器、计量、应用电子技术、航空航天、雷达、国防军工等各个领域,随着科学技术的发展和应用领域的扩大,对其精度和稳定度提出了新的要求。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">本文设计了一种基于GPS秒信号的恒温晶振(OCXO驯服保持技术,该技术采用了将时间一幅度转换法和直接计数法相结合的时间间隔测量方法,对GPS接收机输出的lPPS信号与OCXO恒温晶振进行相位差测量,这种测量方法具有分辨率高的优点,有效地减小了±1个字计数误差,其分辨率达到100ps,测量精度达到±200ps满足了驯服系统的设计要求。an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">同时采用an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px"> Kalmanan>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">滤波算法对相位差测量数据进行处理an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">以消除an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">lPPSan>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">信号的相位抖动引入的测量误差an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">实验显示该滤波算法可将原本an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">±50nsan>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">的抖动减小到an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">±2nsan>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">以内an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">从而大大降低了抖动的影响an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">提高了系统的驯服精度。最后用an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">PIDan>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">控制算法对晶振进行校准an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">大大提高了控制的智能化和准确性。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">对锁定后的晶振性能进行了测试,测试结果表明锁定后该系统能输出高精度的频an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">率信号an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">其短期稳定度基本能保持an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">OCXO石英晶体振荡器an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">的原有水平an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">秒级稳定度接近an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">1×101/s, an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">率信号an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">其短期稳定度基本能保持an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">OCXO晶振an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">的原有水平an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">秒级稳定度接近an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">1×101/s, an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">指标an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">解决了an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">OCXO石英晶体振荡器an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">由于老化和温度所导致的频率漂移和长期稳定度差的问题an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">, an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">使得它实时的频率准确度优于an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">9.0×101,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">平均频率准确度优于an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">7.3×10-12,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">长期频率稳定度在锁定后得到了一定程度的改善an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">基本达到了预期的设计目标。此外针对在an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">GPSan>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">信号丢失的情况下an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">采用保持算法an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">虽然目前只适合于短期的预测an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">, an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">但是对以后的研究打下了有力的基础。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">经过一年多的努力,基本完成了基于GPS的1PPS信号的恒温晶振驯服保持的原理验证、方案设计、电路设计、PCB板设计、软硬件调试以及系统测试验证an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">。an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">该系统将an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">GPSan>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">信号的长期稳定度和准确度与OCXO石英晶体振荡器an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">的短期稳定度相结合an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">获得了一种性能优良且价格低廉的频率源an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:19px">具有一定的应用推广价值。an>

an style="font-family:新宋体;font-size:19px">CEOB2B晶振平台互联网推出新产品,是目前全球网络最前端的采购平台.CEOB2B晶振平台为你解决国内外知名晶振品牌产品料号代码,查询对照,替换信息.在这里你可以找到来自海内外各款项品牌晶振,为你解决采购选型一切烦恼.an>

an face="新宋体">an style="font-size:19px">an style="font-size:16px">在前面的文章中我们了解到了GPS的应用以及高精密石英晶体振荡器在GPS内部所提供到的作用，GPS晶振的工作原理等等。晶振的作用随着科技的发展到如今已是无处不在,各种大大小小的智能科技产品都会用到石英贴片晶振.接下来我们要说到的是GPSan>an style="font-size:16px;font-family:新宋体">信号失效后保持算法的研究以及与晶振之间的联系.an>an>an>

an style="font-family:新宋体;font-size:16px">从前面文中介绍an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">GPSan>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">接收机的相关介绍可知an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,1PPSan>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">信号可能在多种因素的作用下丢失。如果通过解码发现失效an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">应立即停止以它作为基准来驯服an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">OCXO晶振,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">否则可能对an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">OCXO晶振an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">产生误调整an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">使系统产生很大的误差an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">但是这时an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">OCXO晶振an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">的输出频率精度会由于老化和温度等因素的影响而不断降低。为了解决这一问题an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">采用保持算法an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">, an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">即在正常锁定过程中an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">实时记录晶振的频率随时间的漂移率an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">即确定石英晶体老化率曲线an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">再利用温度传感器an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">建立温度和频率漂移率的函数关系。当an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">GPSan>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">信号失效后an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">根据以前正常驯服状态下记录的历史数据an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">通过合理的算法对an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">OCXO晶振an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">输出频率的变化趋势做出准确预测an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">进而在此基础上实现对频率误差的实时校正an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">以保证输出频率精度在可容忍的精度范围内an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">,an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">直到an>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">GPSan>an style="font-family:新宋体;font-size:16px">信号恢复后再继续锁定晶振。an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">OCXO石英晶体振荡器an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">的老化模型是非线性的an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">而其频率温度变化模型则可认为是线性的an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">并且可以利用an>an style="font-size:16px"> Kalmanan>an style="font-size:16px">滤波器来对这两种模型的参数进行估计an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">进而可以实现an>an style="font-size:16px">GPSan>an style="font-size:16px">信号失效后an>an style="font-size:16px">OCXO晶振an>an style="font-size:16px">频率的预测校正。然而老化率的非线性是对于较长时间而言的an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">在短时间内比如说一天an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">老化模型也可以被简化为线性an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">这大大方便了算法上的处理关于an>an style="font-size:16px">OCXO石英晶体振荡器an>an style="font-size:16px">的驯服保持模型的原理框图如图an>an style="font-size:16px">5.3an>an style="font-size:16px">所示an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">图中的三个开关an>an style="font-size:16px">S1an>an style="font-size:16px">、an>an style="font-size:16px">S2an>an style="font-size:16px">、an>an style="font-size:16px">S3an>an style="font-size:16px">在卫星工作状态正常时均处于开启状态an>an style="font-size:16px">,OCX0石英晶体振荡器an>an style="font-size:16px">直处于驯服状态an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">并且预测模型一直处于工作模式。如果系统经过判断确定卫星信号丢失an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">而且当时已经完成锁定an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">系统便会处于保持模式an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">三个开关均闭合an>an style="font-size:16px">, an>an style="font-size:16px">这样老化和温度预测模型可以根据其预测的结果并以自己本身的输出作为观测量的输入来实现频率偏差的预测。预测模型的最终输出是出四项叠加而成an>an style="font-size:16px">:an>an style="font-size:16px">驯服的初始校正量、老化模型的预测输出、温度影响模型的预测输出和温度模型的延迟补偿量an>an style="font-size:16px">.an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">为了实现an>an style="font-size:16px">1PPSan>an style="font-size:16px">信号失效后的保持an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">必须先将由老化和温度变化引起的影响量分离开来an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">而分离算法的确定与这两种影响的性质有密切关系。一般认为老化的影响属于慢变an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">而温度的影响则相对变化较快an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">即在频域an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">老化的影响处于低频段an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">温度的影响处于较高的频段an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">这样就可以将它们分离开来an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">即采用不同类型和带宽的数字滤波器就可以实现这两种影响的分离国an>an style="font-size:16px">,ⅢRFan>an style="font-size:16px">、an>an style="font-size:16px">IRF2an>an style="font-size:16px">和an>an style="font-size:16px">RFan>an style="font-size:16px">为滤波器an>an style="font-size:16px">, an>an style="font-size:16px">其中an>an style="font-size:16px">IRFan>an style="font-size:16px">和an>an style="font-size:16px">IRF3an>an style="font-size:16px">为an>an style="font-size:16px">1an>an style="font-size:16px">阶的低通滤波器an>an style="font-size:16px">,IRF2an>an style="font-size:16px">为an>an style="font-size:16px">3an>an style="font-size:16px">阶的低通椭圆滤波。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">图中的an>an style="font-size:16px">IRF1an>an style="font-size:16px">是用来同时通过锁定状态下由温度变化引起的校正量中的高频变化部分和老化引起的低频变化部分an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">其带宽应该由高频分量确定。在一般的应用环境下an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">温度的最大变化率可以达到an>an style="font-size:16px">10℃h,an>an style="font-size:16px">而这里所采用的an>an style="font-size:16px">OCXO贴片晶振an>an style="font-size:16px">的线性频率温度系数为an>an style="font-size:16px">6~8ppb/40℃,an>an style="font-size:16px">于是可以得到最大温度变化率引起的频率漂移率达到an>an style="font-size:16px">4.17~5.56×10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:16px">-4an>an>an style="font-size:16px">ppb/san>an style="font-size:16px">。所以an>an style="font-size:16px">IRFan>an style="font-size:16px">的带宽被设计为an>an style="font-size:16px">3×10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:16px">-3an>an>an style="font-size:16px">ppb/s(3mHz),an>an style="font-size:16px">即是最大频率温度漂移率的an>an style="font-size:16px">5.4an>an style="font-size:16px">倍an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">这样就可以通过所需要的信号an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">并且针对校正信号中由an>an style="font-size:16px">GPSan>an style="font-size:16px">接收机引入的高频噪声an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">进行每an>an style="font-size:16px">10an>an style="font-size:16px">倍频an>an style="font-size:16px">10dBan>an style="font-size:16px">的衰。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">IRF2an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">用于从经过an>an style="font-size:16px">RFan>an style="font-size:16px">滤波后的校正量中分离出老化的影响an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">那么其带宽由反映老化的低频分量决定。这里采用的an>an style="font-size:16px">OCXO晶振an>an style="font-size:16px">的老化率为an>an style="font-size:16px">0.5ppbdan>an style="font-size:16px">或者an>an style="font-size:16px">58×10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:16px">-6an>an>an style="font-size:16px">ppb/s,an>an style="font-size:16px">所以an>an style="font-size:16px">IIRF2an>an style="font-size:16px">的带宽被设计为an>an style="font-size:16px">3×10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:16px">-5an>an>an style="font-size:16px">ppbs(0.03mHz),an>an style="font-size:16px">即为秒老化率的an>an style="font-size:16px">5.2an>an style="font-size:16px">倍an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">并且其阻带衰减最小为an>an style="font-size:16px">50dB,an>an style="font-size:16px">带内波动为an>an style="font-size:16px">1.5dB,an>an style="font-size:16px">这样可以较好的过滤掉温度的影响。an>an style="font-size:16px">IRF2an>an style="font-size:16px">的输出直接输入给了老化的an>an style="font-size:16px"> Kalmanan>an style="font-size:16px">预测模型an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">并且将其从an>an style="font-size:16px">IRFlan>an style="font-size:16px">的输出中减掉an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">可以提取出温度的影响。an>an>

an style="font-size:16px;font-family:新宋体">IRFan>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">an style="font-size:16px">用和an>an style="font-size:16px">RFan>an style="font-size:16px">完全相同的设计an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">主要用来进一步抑制an>an style="font-size:16px">GPSan>an style="font-size:16px">接收机引入的噪声和消除an>an style="font-size:16px">IRF2an>an style="font-size:16px">输入输出信号的数字相减带来的毛刺。由于an>an style="font-size:16px">IRF1an>an style="font-size:16px">和an>an style="font-size:16px">IRF2an>an style="font-size:16px">处于温度影响预测模型的输入通道上an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">会使得校正量的预测产生延迟an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">使预测滞后于an>an style="font-size:16px">IRFlan>an style="font-size:16px">的输入信号。因此有必要在温度预测模型的输出加上一个延迟补偿模块an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">由它在保持模式时计算出相应的补偿量an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">并叠加到预测模型的输出信号上来消除延迟的影响。这里的延迟补偿量由温度预测模型输出的变化率和滤波器的延迟量相乘来得到an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">而滤波器的延迟量的最优估计为个小时an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">温度预测模型输出变化率由其输出对于时间的一阶微分的an>an style="font-size:16px">100an>an style="font-size:16px">点滑动平均来得到an>an style="font-size:16px">,an>an style="font-size:16px">其中每秒采集一个数据。an>an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">在进行系统测试时,被锁晶振采用高稳定度恒温晶体振荡器(10MHz±3Hz),GPS接收机选用LASSEN IQ型,采用5585B-PRS型铯原子频标作为频率参考,该铯原子频标可输出10MHz信号,具有较好的频率准确度及稳定度,其频率准确度优于5×10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:27px;font-family:新宋体">-12an>an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">,an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">秒级频率稳定度优于1×10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:27px;font-family:新宋体">-11an>an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">/san>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">采用相位比对的方法来测试被锁石英晶振的相对频率准确度,测试连接图如图5.1所示。将被锁定的晶体振荡器的10MHz频率信号和铯原子频标产生的10MHz频率信号分别作为开关门信号输入到精密时间间隔测试仪HP5370B(分辨率为20ps) 进行比对测试,HP5370B输出的时间间隔值与两个比对信号的相位差成正比。该时间间隔值的变化反映了两个信号的相位差的变化。计算相对频差的公式为:an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">其中,τ为取样周期;△T为在取样周期τ内两信号累积的相位差变化。由此式可以看出,△T的测量误差取决于HP5370B的时间间隔测量分辨率,最小为±20ps,也就是在ls闸门时间内相对晶振频率准确度为±2×10an>an style="vertical-align:baseline">an style="font-size:27px;font-family:新宋体">-11an>an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">,an>an style="font-size:19px;font-family:新宋体">但是随着采样时间r的增大,测量误差可以大大的减小,精度也不断提高。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">由于天气等原因,对接收机工作有影响,所以做实验时适当选择比较好的天气。取样时间设定为40s,OCX0石英晶体振荡器在系统运行3小时后即进入锁定状态,开始对晶体振荡器锁定状态下与铯原子频标进行相位比对测试,记录系统连续工作10小时的数据,图5.2为OCXO晶振的频率准确度随时间的变化曲线。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">从图5.2中可以看出,锁定后OCXO晶振的频率值在标称频率上下起伏,最大起伏约为9.0×10an style="vertical-align:baseline">-11an>。通过计算,图5.2中所显示的频率平均准确度达到73×10an style="vertical-align:baseline">-12an>,相对于所采用晶体振荡器的约5×10an style="vertical-align:baseline">-10an>/d的老化率有明显改进,同时也说明晶振频率的漂移得到了一定程度的修正。an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">在进行石英贴片晶振频率稳定度测试时,由于实验室测频仪器测量的分辨率的有限,ls和10s的稳定度由直接测频法计算得到,而100s、1000s、5000s和10000S由比相间接测频法计算得到,相位比对数据采用上面图5.2中所采集的数据。锁定后, OCXO的频率稳定度测试结果如表5.1所示:an>

an style="font-size:19px;font-family:新宋体">从表51中可以看出,锁定后的OCXO恒温晶体振荡器的短期稳定度基本保持了其本身的指标,而其中长期稳定度不是非常理想,这是由lPPS中存在的中长期相位漂移以及Kalman滤波和PID控制参数还不是很合理造成的,但总体较其本身指标,有一定程度的提高。因此,后续工作需要增大滤波时间常数,进一步继续优化 Kalman滤波和PID控制模型的参数,使得 Kalman滤波的收敛值更小,对OCXO晶振频率的调整幅度和频度更低。an>